• príprava tenkých vrstiev DC a RF magnetrónovým naprašovaním s možnosťou rekryštalizácie tenkých vrstiev pri teplotách do 1000°C (viac>>)
• modifikácia povrchov tenkých vrstiev prostredníctvom plytkej implantácie mnohonásobne ionizovaných atómov generovaných ECR (Electron Cyclotron Resonance) iónovým zdrojom (viac>>)
• analýza povrchového ako aj hĺbkového zloženia tenkých vrstiev spektrometrom augerových elektrónov (Auger Electron Spectroscopy – AES) (viac>>)
• topografia povrchov tuhých látok až do atomárneho rozlíšenia rastrovacím sondovým mikroskopom (Scanning Probe Microscope - SPM) Solver P47 (viac>>)
• Mask Lifetime Test-bench (MLT) – aparatúra na testovanie vlastností iónových zdrojov a skúmanie vplyvov iónmi vyvolanej erózie materiálov. (viac>>)
• modifikácia povrchov tenkých vrstiev prostredníctvom plytkej implantácie mnohonásobne ionizovaných atómov generovaných ECR (Electron Cyclotron Resonance) iónovým zdrojom (viac>>)
• analýza povrchového ako aj hĺbkového zloženia tenkých vrstiev spektrometrom augerových elektrónov (Auger Electron Spectroscopy – AES) (viac>>)
• topografia povrchov tuhých látok až do atomárneho rozlíšenia rastrovacím sondovým mikroskopom (Scanning Probe Microscope - SPM) Solver P47 (viac>>)
• Mask Lifetime Test-bench (MLT) – aparatúra na testovanie vlastností iónových zdrojov a skúmanie vplyvov iónmi vyvolanej erózie materiálov. (viac>>)